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ASML驱动摩尔定律前行,以全景光刻赋能AI时代半导体创新

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分类:单机 / 冒险解谜 大小:3.4MB 授权:免费游戏
语言:中文 更新:2025-11-13 11:27 等级:
平台:Android 厂商: ASML驱动摩尔定律前行,以全景光刻赋能AI时代半导体创新股份有限公司 官网:暂无
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略。

> 厂商新闻《ASML驱动摩尔定律前行,以全景光刻赋能AI时代半导体创新》特朗普继续对日本施压:日本需要开放市场 时间:2025-11-13 20:13

    • 编辑:CN

    自1965年戈登·摩尔的预言提出至今,60年来摩尔定律成为集成电路行业进步的圭臬,持续推动集成电路行业创新,让世界迎来深刻变革。

    如今,随着生成式AI技术爆发,正加速行业从“芯片无处不在”迈向“AI芯片无处不在”,全球半导体行业随之迎来新的发展浪潮,持续释放未来潜力。据预测,到2030年全球半导体销售额将突破1万亿美元。其中数据中心与边缘AI需求增长尤为显著,将占据约40%的市场份额,高性能计算领域的增量空间成为行业增长的重要引擎。

    但机遇背后,挑战也随之而来。

    当前AI算力需求增速已远超摩尔定律的发展节奏:AI大模型参数呈指数级增长,仅靠芯片晶体管数量/计算能力每2年翻倍的速度,已无法满足AI大模型训练的算力需求;与此同时,芯片能效提升速度已放缓至每两年仅提升约40%。若延续当前趋势,到2035年训练一个前沿AI模型所需的电力或将消耗全球总发电量。

    数据来源:斯坦福大学黄汉森(H.S. Philip Wong)教授等人整理分享 图源:ASML

    算力与功耗的供需缺口,成为AI时代下半导体行业亟待突破的关键课题。

    应对AI时代挑战,ASML赋能创新突破

    面对日益严峻的算力与能效挑战,AI的持续发展亟需在模型效率、芯片技术以及设备与工艺等多维度实现协同创新,推动行业在四大关键领域谋求突破:

    高效的AI模型:以更少计算资源训练更多参数的模型;面向AI的高效芯片设计与架构:根据特定的AI需求,推动集成电路系统中的能效提升;高效芯片技术:芯片晶体管微缩和能源优化更高效的集成电路生产设备和工艺

    在这一创新体系中,光刻技术作为芯片制造的核心环节,其进步对降低单位算力成本与能耗至关重要。

    图源:ASML

    作为半导体制造的核心设备供应商,ASML凭借其全景光刻解决方案系统性地优化光刻工艺中的各项核心指标——包括良率、分辨率、精度与产能,致力于降低设备在整个生命周期内的使用成本与环境足迹。

    整体而言,ASML的全景光刻技术正成为推动芯片技术与工艺改进的核心力量。作为芯片制造突破的关键环节,以全流程的效率提升与性能保障,为AI时代的半导体创新提供坚实底座。

    在本届进博会期间,ASML以“积纳米之微,成大千世界”为主题,重点展示了其面向主流芯片市场的全景光刻解决方案,融合光刻机、计算光刻和电子束量测与检测技术。通过数字化、交互式形式呈现这些技术如何协同推动AI时代下摩尔定律的持续演进。

    ASML中国区总裁沈波指出,通过2D微缩持续缩小晶体管尺寸、提升晶体管密度与能效,以及借助3D集成进行堆叠和封装,突破平面极限,是芯片行业在技术领域寻求创新突破的两大核心路线。ASML依托集光刻机、计算光刻和光学、电子束量测与检测技术于一体的全景光刻解决方案,致力于提升性能与能效,以更低能耗和成本实现更高良率。

    推动2D微缩,EUV加速先进制程落地

    其中,为应对AI对芯片算力和能效的极致要求,全球半导体制造商正持续推动芯片尺寸微缩,以在单位面积内集成更多晶体管。从IMEC公布的技术路线图来看,先进制程正朝着更小的金属间距与节点尺寸稳步演进。

    图源:IMEC

    能看到,未来15年,芯片制程将从3nm、2nm向A14、A10以及更先进的埃米节点演进,芯片架构也将沿着FinFET、NanoSheet、CFET到2DFET的方向持续迭代,以及金属间距、互联架构和供电方式等创新技术随之快速发展。

    在这一进程中,极紫外(EUV)光刻系统作为实现芯片微缩的关键工具,已成为多数逻辑与存储芯片的光刻技术标准。

    同时,ASML还在通过持续的光学创新与光刻系统升级,推动EUV技术从0.33 NA向0.55 NA高数值孔径乃至未来0.75 NA不断演进,逐步拓宽技术应用窗口。High-NA EUV不仅能显著提升成像分辨率和对比度,更能将原先需要多重曝光的复杂层次转为单次曝光完成,从而大幅简化工艺流程。

    ASML通过EUV的可扩展性与技术迭代,不仅能帮助客户实现从“多曝光”到“单曝光”的效率跨越,更在分辨率、生产率、成本控制上形成协同优势,最终为客户带来良率提升、周期缩短、综合成本下降等多重价值。

    换言之,EUV技术正为行业构建起一条兼顾性能、效率与可持续性的清晰路径,持续支撑半导体行业向更小节点、更高性能迈进,助力ASML在AI时代保持领先竞争力。

    DUV,光刻领域的“中流砥柱”

    然而,值得注意的是,尽管EUV在芯片制造中备受关注,但在整个光刻体系中,成熟的深紫外(DUV)光刻才是真正的主力。当前业界绝大多数的光刻任务,依然由i-line、KrF、ArF、ArFi等DUV光刻技术完成。

    ASML在DUV领域的技术积累同样深厚,其DUV设备通过持续创新,在生产力、套刻精度与工艺适应性上形成显著优势,成为支撑光刻效率与质量的核心力量。以本届进博会上展示的TWINSCAN NXT:870B光刻系统为例,在升级的光学器件和最新一代磁悬浮平台的支持下,NXT:870B可将晶圆吞吐量提升至≥400 wph的新高度,并通过多方面技术优化实现性能突破,为键合后的套刻和阶梯式工艺提供强大的校正能力。

    图源:ASML

    此外,ASML的DUV设备在稳定性与长期可用性上也展现出硬实力。例如,在DUV平台中创新性引入钻石涂层,能够有效减少设备磨损并延长使用寿命,大幅降低设备停机校准时间与维护成本,显著提升产线可用性。

    在精度控制与工艺适应性上,ASML DUV设备的校正能力也尤为突出。针对晶圆键合前后的形变难题,通过大规模计量技术捕捉晶圆形变特征,再借助光刻机曝光补偿实现局部图案调整,能够将键合后套刻误差从50nm量级成功降至5nm以下,部分场景下甚至能降至2.5nm以内,完美适配晶圆-晶圆(W-W)、晶圆-芯片(D-W)混合键合的工艺需求,为芯片集成路径提供重要支持。

    能看到,ASML通过持续创新,确保其DUV光刻设备在生产力与工艺控制能力上保持领先。从成熟工艺到封装键合,ASML的DUV光刻设备以“高效、精准、可靠”的核心优势,为AI时代半导体芯片的规模化、高质量生产提供坚实支撑。

    先进封装崛起:ASML携XT:260光刻机满足客户需求

    另一边,在AI芯片强劲需求的推动下,以台积电CoWoS为代表的先进封装技术正迅速崛起,成为延续算力增长的关键路径。

    图源:TSMC

    在这一技术演进过程中,随着芯片集成度的不断提升,CoWoS中介层尺寸持续扩大,从早期1倍掩模版逐步升级至3.3倍、5.5倍,未来更将迈向9.5倍掩模版规格。对此,如何在更大尺寸的掩模版上实现高精度、高效率的图形化制备,成为支撑CoWoS等先进封装路线落地的核心问题。

    面对行业新挑战,ASML在最新第三季度财报上披露的TWINSCAN XT:260光刻系统精准切入需求痛点,为先进封装领域提供支持。

    图源:ASML

    据介绍,XT:260 i-line光刻机是ASML首款可服务于先进封装领域的光刻机,基于其独有的双工作台技术,通过光学系统的创新,XT:260具有大视场曝光,相较于现有机型可提升4倍生产效率,能够有效提升先进封装的效率、性能和良率,并降低单片晶圆成本。除先进封装外,TWINSCAN XT:260还可支持主流市场的其他广泛应用,该系统已于今年三季度实现了商业发货。

    从技术价值来看,XT:260延续了ASML DUV技术高效适配场景需求的核心优势。与EUV技术、其他DUV设备形成协同,共同构建起ASML覆盖“芯片制造-封装集成”全流程的光刻解决方案,为AI时代半导体产业链的创新提供更全面的技术支撑。

    ASML全景光刻“铁三角”,构建良率保障闭环

    上文提到,在驱动半导体行业向2D微缩与3D集成迈进的过程中,ASML的价值远不止于提供EUV与DUV光刻机台,其核心的竞争力更在于构建了覆盖“光刻机台、计算光刻、电子束量测与检测”三大支柱的全景光刻(Holistic Lithography)技术体系。

    这一“铁三角”协同的解决方案,正助力全球范围内芯片制造客户在更小尺寸、更高性能、更智能化的芯片制造中突破瓶颈,实现更高的良率、产能与经济效益。这一全链条协同思路成为ASML应对AI时代挑战的重要方案。

    图源:ASML

    其中,作为“铁三角”的核心技术支撑之一,ASML的计算光刻技术通过先进的仿真与优化手段,能够预测、校正、优化和验证光刻技术的成像性能,实现更精确的图形成像和更好的芯片生产良率。

    和计算光刻一样,量测与检测也是ASML为保证芯片良率而做的投入之一,即通过光学或电子束手段对曝光后的晶圆进行成像检查和反馈,及时纠错/调整光刻工艺实时提升精度与良率,帮助模型进一步优化,为后续的制程开发做好准备。

    随着芯片结构日趋立体与复杂,传统光学检测已难以捕捉10nm以下的微小物理缺陷,ASML的电子束量检测技术成为有效解决方案,发挥着不可替代的作用。

    同时,针对3D架构芯片中日益复杂的埋藏缺陷与电学缺陷,电子束电压对比度(VC)检测技术从NAND领域逐步拓展至DRAM与逻辑芯片,通过电压信号差异识别埋层结构异常,满足3D集成对全维度缺陷监控的需求。

    在电子束量测与检测设备方面,ASML也在持续不断推进创新。eScan 1100作为ASML首款实现在线缺陷检测(涵盖物理缺陷和电性缺陷)的25束电子束检测系统,其晶圆量测吞吐量提升至传统单束系统的10倍以上。

    图源:ASML

    该设备在逻辑与DRAM层上的面积吞吐量优势显著,可实现单位时间内扫描更多区域,这意味着能捕捉更多缺陷特征,为客户在从研发到量产爬坡中提供及时监控和反馈,加速良率的提升。

    据悉,eScan 1100主要用于电压对比度检测。未来,ASML计划将电子束数量扩展至2700束,进一步释放量测环节的效率和良率潜力,为未来更严苛的制程节点做好准备。

    综合来看,这些技术共同构成了ASML赋能芯片制造与集成的核心能力。光刻系统持续推动2D微缩,同时赋能先进封装与3D集成;计算光刻突破光学物理极限,智能优化成像;电子束、光学量测与检测是保障芯片质量的关键技术。

    与此同时,ASML的全景光刻解决方案还为3D集成的核心键合工艺提供坚实支持,帮助减少晶圆形变所导致的对准误差、保障芯片精准堆叠,并实现更短、更快的互联,以满足客户在新兴应用领域日益增长的需求。

    图源:ASML

    AI时代,ASML助力摩尔定律焕发新活力

    面对AI时代算力需求指数级增长、功耗挑战加剧、3D集成加速推进的行业变局,ASML以全链条协同为核心战略布局,依托全景光刻“铁三角”体系,既在2D缩放领域持续突破物理极限,破解先进节点尺寸缩小难题,又为3D集成提供可信赖、可扩展的整体解决方案,化解键合形变、套刻误差等核心痛点。

    展望未来,在AI芯片向更高集成、更复杂架构演进的进程中,ASML早已超越单纯的技术提供者身份,成为与全球产业共同探索未来的合作伙伴。其全景光刻,在支撑着全球半导体行业向万亿美元规模迈进的同时,更让摩尔定律在AI时代持续演进,持续为芯片创新注入动力,成为连接技术极限与AI应用落地的关键桥梁。

    更新内容

    一、修复bug,修改自动播放;优化产品用户体验。

    二、 1.修复已知Bug。2.新服务。

    三、修复已知bug;优化用户体验

    四、1,交互全面优化,用户操作更加便捷高效;2,主题色更新,界面风格更加协调;3,增加卡片类个人数据

    五、-千万商品随意挑选,大图展现商品细节-订单和物流查询实时同步-支持团购和名品特卖,更有手机专享等你抢-支付宝和银联多种支付方式,轻松下单,快捷支付-新浪微博,支付宝,QQ登录,不用注册也能购物-支持商品收藏,随时查询喜爱的商品和历史购物清单。

    六、1.bug修复,提升用户体验;2.优化加载,体验更流程;3.提升安卓系统兼容性

    七、1、修复部分机型bug;2、提高游戏流畅度;

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